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本文標(biāo)題："便攜顯微鏡可測量工作臺上的大形部件的粗糙度"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-4-12 18:53:51 本站主頁地址：http://www.vndmy.cn
便攜顯微鏡可測量工作臺上的大形部件的粗糙度
透明薄膜的厚度測量
由于顯微鏡做成手提式，所以直接對于那樣安裝在加工機械
上的工件或者無法放在測量工作臺上的大形部件的粗糙度進行
測量。測量的取值是靠目鏡測微計進行
原理、結(jié)構(gòu)
光切斷面法的原理從斜的方向?qū)叫泄馐丈湓诎纪馆喞?/div>
的樣品的表面上。
照射光和照射不著光的界線就是樣品表面的形狀，通過測量
高度H就可求得粗糙度（圖中的槽濃度）。
光束對于樣品表面的入射角度和觀察角度均為45度。實際結(jié)
構(gòu)光路如圖2-17-8b所示，由光源（燈泡）發(fā)出的光照射在狹縫
刻度盤上，在刻度盤上裝有狹縫等，以提供帶狀光束，
各狹縫被物鏡所縮小后，呈現(xiàn)在樣品面上，由狹縫照射的樣品
面的像是被另一個物鏡所放大之后，同時射入之后，同時射
目視部和照相系統(tǒng)。
照明用物鏡和觀察用物鏡均裝在一個框式部件內(nèi)，根據(jù)緊因
桿的操作機能，可隨時替換。各部件是考慮到工作時若萬一碰
上樣品亦不使光學(xué)件受到損傷的結(jié)構(gòu)，它備有4種倍數(shù)，
即：4X、14X、30X和60X。根據(jù)試件粗糙度值的大小，選擇合適的
使用倍數(shù)。
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